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產品系列

HEATEFLEX  DI water加熱系統

HEATEFLEX DI water加熱系統

Aquarius ?超純去離子水(DIW)加熱系統,與液體接觸的表面全部是超純PVDF/PFA材料,確保整個加熱過程的超純條件

通過PLC和Power-To-Flow Control?溫度精確控制技術,提供穩定、精確的溫度輸出

功率范圍從40KW到225KW。


·       超純設計

o  與液體接觸的部分是 PVDF/PFA材料

·      提高溫度穩定性

o  通過PLC和Power-To-Flow Control?溫度精確控制技術提供穩定、精確的溫度輸出

·        便于操作的觸摸屏界面

高分辨率觸摸屏及圖形界面

o  便于導航

         ·      符合行業安全準則

 滿足并超過UL-499SEMI S2SEMI S3CE的嚴格要求

·       即插即用系統與完全集成的控制部分

·       安全集成到設計中

o  額定短路電流為100 kA Amps

 接地故障斷路器,額定電壓小于30 mAmp

o   多個安全PLC監控 GFCI, 熱熔斷器, 高溫監控熱電偶

o   NIST-Certified 熱電偶

o   輸入和輸出都有雙壓力安全閥,確保壓力迅速消散

·     以太網連接讀/寫

o   允許加熱器的數據迅速轉移到 Fab SECS/GEM System

·     不需要用N2清洗

 


產品特點

·  加熱器:具有Heatefle技術的加熱單元

·  與液體接觸的部分是PVDF/PFA材料

·   功率:40 KW to 225 KW

·   電壓: 200 VAC to 480 VAC, 3-ph

·   最高溫度: 95o C (203o F)

·   溫控精度: +/- 1o C(廠務在入口提供溫度、流量穩定的DIW前提下)

·   流量: 0.5 GPM (1.9 LPM) to 32 GPM (122 LPM)

·   壓力: 60 PSIG @ 95oC

·   效能: >99 %

·   MTBF: 10.29

安全保護

·   液位傳感器

·   熱熔斷

·   接地故障斷路器

·   壓力安全閥

·   流量傳感器

·   多個安全PLC

通信

·   以太網 (讀/寫)

·  也有其他通信方式可選

 


AquariuskWStandard Modelsw/ Recirculation Option
Low VACHigh VACLow VACHigh VAC
DI-404078″H x 32″W x 24″D78″H x 24″W x 24″D78″H x 24″W x 24″D78″H x 24″W x 24″D
DI-808078″H x 32″W x 24″D78″H x 24″W x 24″D78″H x 32″W x 24″D78″H x 24″W x 24″D
DI-10010078″H x 39″W x 24″D78″H x 32″W x 24″D78″H x 39″W x 24″D78″H x 32″W x 24″D
DI-12012078″H x 39″W x 24″D78″H x 32″W x 24″D78″H x 39″W x 24″D78″H x 32″W x 24″D
DI-160160N/A78″H x 39″W x 24″DN/A78″H x 39″W x 24″D
DI-200200N/A78″H x 39″W x 24″DN/A78″H x 39″W x 24″D
DI-225225N/A78″H x 39″W x 24″DN/A78″H x 39″W x 24″D
*Low VAC: 200-240 VAC, 3-Phase · High VAC: 380-480 VAC, 3-Phase


https://www.heateflex.com/products/deionized-water-heater/

01

Auto Purge

02

Resistivity   Sensor

3B

Ethernet Cable   -50 ft (replaces standare 25-ft cable)

4A

Water leaks   Alarm Option(User had choice to set alarm as critical or no-critical, signal   only)

4B

Water leaks   option(Isolation vlave input only, AOV, critical alarm only , not available   on 32mm or 40mm units)

  4C

Water leaks   option (Isolation Valves input and output, AOV, Critical Alarm only,not   available on 32mm or 40mm units)

5A

Discrete   Communications option with 25-ft cable

5B

Discrete   Communications option with 50-ft cable

6A

Analog   Communications option with 25-ft

6B

Analog   Communications option with 50-ft

7A

Dry Contact   communication option with 25-ft cable

7B

Dry Contact   communication option with 50-ft cable

08

Dry signal for   secondary process set point ( No panel mount , no interface cable)

09

Recirculation   Option

10

Power supply   from bottom of Unit

11

Lock out   Tag-out Circuit Breaker box on back of unit

12

Incoming power   conduit size increase by 1

13

Manifold for   Multiple Units

14

Embedded   Ground Wire (1 per heating coil)

15

3/4” Flare   Drain

16

Manual Valve   at In/Out

17

3/4” Pillar   Super 300 Vent Relief and Any Internal Tubing (soft) Will Have Pillar   Fittings

18

Top Mounted   Fan & Vent


Power-To-Flow? 控制

HeateflexPower-To-Flow Control?是一種創新的控制系統,旨在為在線加熱提供精確的溫度輸出的應用程序。

Power-To-Flow 控制系統消除了不必要的溫度波動. 先進的 Aquarius? 溫度控制系統具有多回路能力和前饋功能,以補償加熱過程中流量的變化. 它測量流體進入加熱器時的流速,測量加熱過程中不同階段的溫度,然后根據這些測量結果,調整每個加熱區域的功率比例。這種先進的綜合控制方法對流量的任何變化反應迅速,在穩定的溫度下提供DI Water的穩定流動。


優勢

·        優良的溫度穩定性

·        對溫度和流量變化的快速反應

·        消除溫度的波動


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