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產品系列

SPS公司單片SPIN150系列

SPS公司單片SPIN150系列

根據工藝需求,選用耐腐蝕NPP或者PTFE材料。



根據工藝需求,選用耐腐蝕NPP或者PTFE材料。

適用于4英寸方片和最大到160毫米圓片。

本機臺具有噴淋、清洗、甩干、手動涂膠功能

使用數控伺服電機,可以設定正傳/反轉,滿足工藝功能。

客戶可以自由設定工藝時間、轉速和加速度。

標配轉速為:1—10000RPM

可存儲99個客戶自定程序。

每個程序可以自編99步。

轉速精確度為:+/- 0.1RPM

旋轉加速度為: 7500RPM/SEC

提供與客戶晶片尺寸相適應的機械或真空夾具

有機臺蓋子自動互鎖保護。

提供PVD透明內腔保護襯,在涂膠工藝時保持機臺內壁潔凈


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